PFA軟管因其具有優(yōu)異的耐化學(xué)腐蝕性、耐溫性、低摩擦系數(shù)和良好的電絕緣性等特點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化工、等領(lǐng)域的設(shè)備中。以下是具體介紹:
半導(dǎo)體制造設(shè)備:在晶圓清洗和蝕刻工序中,PFA軟管用于輸送超純水、氫氟酸等高純度化學(xué)品。在化學(xué)氣相沉積(CVD)設(shè)備中,可用于輸送工藝氣體。此外,PFA軟管在真空環(huán)境下幾乎不出氣,是連接真空泵和工藝腔室的理想選擇。
化工設(shè)備:化工生產(chǎn)中常涉及各種強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、有機(jī)溶劑等腐蝕性介質(zhì)的輸送,PFA軟管能夠耐受這些介質(zhì)的腐蝕,可用于反應(yīng)釜、精餾塔、貯槽等設(shè)備的物料輸送管道,以及泵和閥門之間的連接,既能減少震動傳遞,又能適應(yīng)的位移。
設(shè)備:在CT機(jī)的滑環(huán)系統(tǒng)中,PFA軟管可保護(hù)數(shù)據(jù)傳輸線,降低信號干擾。手術(shù)機(jī)器人機(jī)械臂關(guān)節(jié)處的線纜也可用PFA波紋管保護(hù),確保可靠性和潔凈度。另外,生化分析儀等體外診斷設(shè)備的液體管路系統(tǒng),也依賴PFA波紋管的化學(xué)惰性來輸送試劑等液體。
光伏設(shè)備:在單晶硅生長環(huán)節(jié),PFA軟管可用于多晶硅還原爐的載氣輸送系統(tǒng)。在光伏電池的制絨工藝中,能耐受80℃的氫氧化鈉溶液,用于相關(guān)設(shè)備的管道系統(tǒng)。在新興鈣鈦礦電池領(lǐng)域,還可用于有機(jī)-無機(jī)雜化材料的涂布設(shè)備中實(shí)現(xiàn)傳輸。
熱力工程設(shè)備:在管道系統(tǒng)中,PFA波紋管可以作為補(bǔ)償器的一部分,用以應(yīng)對溫度變化引起的熱脹冷縮。在一些的化工或制藥行業(yè)中,PFA軟管可制成波紋管應(yīng)用于熱交換器中,確保設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行。
設(shè)備:在污水處理和廢氣排放處理過程中,PFA軟管可用于輸送廢液和廢氣。其耐腐蝕性和耐溫性能夠適應(yīng)惡劣的工作環(huán)境,確保設(shè)備的正常運(yùn)行。